半導(dǎo)體制造業(yè)微量氧分析儀G1501可測(cè)量低ppm級(jí)氧含量
氮?dú)獾氖褂贸霈F(xiàn)在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中，從凈化泵到減排。氮?dú)庖脖皇褂糜诩庸み^(guò)程，特別是如今FAB的尺寸在不斷增長(zhǎng)的情況下。在一家現(xiàn)代化的半導(dǎo)體制造廠，每小時(shí)使用多達(dá)50000立方米的氮?dú)狻?/span>
為滿足這一需求，半導(dǎo)體制造廠在現(xiàn)場(chǎng)安裝氮?dú)獍l(fā)生器。安裝這樣的發(fā)生器意味著生產(chǎn)過(guò)程中的氮?dú)夤?yīng)變成廉價(jià)、高效、隨時(shí)可用。
只要氮?dú)?*地儲(chǔ)存在發(fā)生器內(nèi)，并被正確使用，就不會(huì)有健康風(fēng)險(xiǎn)。然而，如果發(fā)生器或供應(yīng)鏈中出現(xiàn)泄漏，氮?dú)饩蜁?huì)溢出，并很快耗盡周遭的氧氣。由于氮?dú)馐菬o(wú)色無(wú)味的，所以工作人員無(wú)法監(jiān)測(cè)到。半導(dǎo)體制造業(yè)微量氧分析儀G1501可測(cè)量低ppm級(jí)氧含量
與氮?dú)庖黄?，氬氣體被用于半導(dǎo)體制造，*為人所知的是濺射氣體。和氮?dú)庖粯樱瑲鍤庖矔?huì)消耗周遭的氧氣，且無(wú)色無(wú)味。在封閉的環(huán)境中，氣體消耗氧氣并引起呼吸問(wèn)題，*終導(dǎo)致窒息。
氧氣分析儀可以測(cè)量氮?dú)獍l(fā)生器產(chǎn)生的氣體中的氧氣含量，以確保生產(chǎn)中使用的氣體純度。氧氣分析儀是低濃度分析的理想儀器，可測(cè)量從0 ppm到1000 ppm。儀表上的氧氣濃度一目了然，確保氮?dú)獍l(fā)生器正常工作。當(dāng)與氧氣監(jiān)測(cè)器結(jié)合使用時(shí)，氧氣分析儀可以簡(jiǎn)化并保護(hù)半導(dǎo)體制造過(guò)程。
ADEV公司G1501微量氧分析儀采用的S8201微燃料電池測(cè)量樣氣中的微量氧。S8201氧傳感器的精度，靈敏度和易使用性符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，并且提供1年的質(zhì)保。 期望壽命為2年。由于每一個(gè)S8201傳感器的生產(chǎn)都遵循一定的質(zhì)量控制程序，經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的測(cè)試，所以可以確保其的可靠性性能。S8201傳感器是一個(gè)密封的電化學(xué)設(shè)備，不需要更換電解液或清洗電極，因此不存在維護(hù)問(wèn)題。該傳感器只對(duì)氧有響應(yīng)，可以準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)幾乎100％的碳?xì)浠衔飿託庵械难酢?
半導(dǎo)體制造業(yè)微量氧分析儀G1501可測(cè)量低ppm級(jí)氧含量
環(huán)境空氣標(biāo)定，不需輔助氣體
高精度和快速響應(yīng)的G1501不需輔助氣體即可進(jìn)行標(biāo)定。 微燃料電池產(chǎn)生信號(hào)的線性范圍為0 ppm到100％O2，所以用戶可采用環(huán)境空氣（209500 ppm O2）進(jìn)行標(biāo)定。該儀器也可用ppm O2量程氣進(jìn)行快速標(biāo)定。G1501帶有一316不銹鋼的氣體處理系統(tǒng)，內(nèi)有盤(pán)裝式流量計(jì)。
系統(tǒng)
除G1501單機(jī)外，還提供各種預(yù)處理系統(tǒng)、特殊傳感器等，以滿足各類用戶的需要。
優(yōu)勢(shì) 3個(gè)用戶可選線性量程
從計(jì)算機(jī)進(jìn)行完全遠(yuǎn)程控制
不需維護(hù)、壽命更長(zhǎng)的傳感器
環(huán)境空氣標(biāo)定
自動(dòng)量程轉(zhuǎn)換
性能半導(dǎo)體制造業(yè)微量氧分析儀G1501可測(cè)量低ppm級(jí)氧含量
量程： 0-10/100/1000ppm/25%自動(dòng)切換
標(biāo)定量程： 0-25%
精度: +/- 2%FS
靈敏度: 0.5%FS
操作溫度: 0-50℃
響應(yīng)時(shí)間: 90% < 60 s
信號(hào)輸出: 0-1VDC, 4-20mA, 訂貨時(shí)需要明確
*大負(fù)載： 4-20mA, 1000ohms
數(shù)據(jù)傳輸： RS485
開(kāi)關(guān)量輸出：2路報(bào)警，繼電器觸點(diǎn)容量24VDC 0.2A
氧傳感器： ADEV微燃料電池 S8201（一般可用2年）
接液材質(zhì)： 316不銹鋼
樣氣連接： 1/4" 或6mm接頭或1/8"
應(yīng)用區(qū)域： **區(qū)
安裝： 盤(pán)裝
尺寸： W*H*D=275*190*300mm
重量： 約6.8公斤半導(dǎo)體制造業(yè)微量氧分析儀G1501可測(cè)量低ppm級(jí)氧含量
電源：85-264VAC, 50-60Hz
應(yīng)用
－空分
－氣態(tài)純碳?xì)浠衔锪鞅O(jiān)測(cè)
－半導(dǎo)體生產(chǎn)
－可燃液體的保護(hù)氣氛
－氣態(tài)單體－氯乙烯，丙烯，丁二烯，乙烯過(guò)程監(jiān)測(cè)
－氣體純度分析
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