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PH3磷烷氣體微量氧分析儀ADEV G9600:為半導(dǎo)體制造提供支持|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司

PH3磷烷氣體微量氧分析儀ADEV G9600:為半導(dǎo)體制造提供支持

磷化氫(PH3)是一種在半導(dǎo)體制造中廣泛使用的關(guān)鍵原料,但其劇毒、易燃的特性使得對(duì)其濃度的**監(jiān)測(cè)成為一項(xiàng)至關(guān)重要的任務(wù)。為了滿足這一需求,ADEV推出的G9600微量氧分析儀展現(xiàn)出了**的性能和價(jià)值。

一、磷烷的多重應(yīng)用與風(fēng)險(xiǎn)PH3磷烷氣體微量氧分析儀ADEV G9600:為半導(dǎo)體制造提供支持

磷烷是半導(dǎo)體器件制造中的核心N型摻雜源,對(duì)于多晶硅化學(xué)氣相沉淀、外延GaP材料、離子注入工藝、MOCVD工藝以及磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝來說都不可或缺。然而,這種無色、無味但在某些情況下可能帶有乙炔或大蒜味的氣體,在與其他磷的氫化物如乙磷化氫相遇時(shí),甚至可能引發(fā)自燃。長(zhǎng)時(shí)間吸入磷化氫可能會(huì)對(duì)人體的心臟、呼吸系統(tǒng)、腎、腸胃、神經(jīng)系統(tǒng)和肝臟造成不可逆的傷害。因此,對(duì)其進(jìn)行**、及時(shí)的監(jiān)測(cè)顯得尤為重要。

二、G9600微量氧分析儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì)

為了滿足半導(dǎo)體制造行業(yè)對(duì)磷烷氣體微量氧的監(jiān)測(cè)需求,ADEV推出了G9600微量氧分析儀。這款儀器具有以下幾個(gè)顯著的技術(shù)優(yōu)勢(shì):

  1. 寬泛的測(cè)量范圍:G9600的量程范圍涵蓋0ppm~10ppm至0~25%,自動(dòng)量程功能確保其能夠應(yīng)對(duì)各種應(yīng)用場(chǎng)景。
  2. 高精度與快速響應(yīng):±1%的準(zhǔn)確性和<15s的響應(yīng)時(shí)間(變化90%)確保了實(shí)時(shí)、準(zhǔn)確的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)。PH3磷烷氣體微量氧分析儀ADEV G9600:為半導(dǎo)體制造提供支持
  3. 便攜與輕巧:重量?jī)H為3.4kg的G9600采用便攜式外觀設(shè)計(jì),搭配可充電的長(zhǎng)壽命鋰電池,使其可以在各種工作環(huán)境中輕松使用。
  4. 先進(jìn)的處理與分析技術(shù):采用32位高速處理器和24位超高精度傳感器信號(hào)采樣技術(shù),確保儀器的高精度、快速響應(yīng)及很寬的測(cè)量范圍。
  5. 用戶友好與多功能:液晶顯示屏、引導(dǎo)式軟件操作菜單以及支持中英文切換的功能,使得操作更為簡(jiǎn)便。此外,G9600還支持?jǐn)?shù)據(jù)下載定時(shí)數(shù)據(jù)存儲(chǔ),容量達(dá)10000條,具有RS485輸出等功能。

三、滿足實(shí)際需求的標(biāo)準(zhǔn)配置與備品備件PH3磷烷氣體微量氧分析儀ADEV G9600:為半導(dǎo)體制造提供支持

為了滿足實(shí)際的使用需求,G9600的標(biāo)準(zhǔn)配置包括主機(jī)、1/8英寸不銹鋼取樣管路、內(nèi)置流量計(jì)和電源適配器。同時(shí),為了確保長(zhǎng)期的穩(wěn)定使用,ADEV還為用戶提供兩年的備品備件清單,其中包括微量氧傳感器S8201。

綜上所述,ADEV G9600微量氧分析儀以其**的技術(shù)性能和用戶友好的設(shè)計(jì),為半導(dǎo)體制造行業(yè)中的磷烷氣體監(jiān)測(cè)提供了有力的支持。其寬泛的測(cè)量范圍、高精度與快速響應(yīng)以及便攜輕巧的特性,使其成為該領(lǐng)域中的理想選擇。

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