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Meeco AquaVolt+及Tracer2 在高純AsH3氣體中的應(yīng)用|埃登威自動化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司

MeecoAquaVolt+及Tracer2 在高純AsH3氣體中的應(yīng)用

砷化氫(AsH3)作為一種重要的化合物,在許多領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用。作為*簡單的砷化合物,它具有獨(dú)特的理化性質(zhì),使得其在半導(dǎo)體工業(yè)中成為一種關(guān)鍵的原料。然而,由于其劇毒性和可燃性,對砷化氫氣體的純度和微量水含量的**檢測變得至關(guān)重要。在這方面,MEECO的微量水分析儀Tracer2發(fā)揮了重要作用。Meeco AquaVolt+及Tracer2 在高純AsH3氣體中的應(yīng)用

Tracer2是MEECO公司系列**濕度分析儀中的拳頭產(chǎn)品,具備先進(jìn)的微處理技術(shù)和**的測量能力。其模塊化設(shè)計使得用戶可以根據(jù)特定的氣體樣本進(jìn)行靈活配置,確保準(zhǔn)確可靠的測量結(jié)果。


砷烷(AsH3)是電子工業(yè)的重要基礎(chǔ)材料之一,是一種重要的電子特氣,在半導(dǎo)體工業(yè)中主要用于外延硅的N型摻雜、硅中的N型擴(kuò)散、離子注入、生長砷化鎵(GaAs) 和磷砷化鎵(GaAsP),以及與ⅢA/ⅤA族元素形成半導(dǎo)體化合物等。

砷烷(AsH3)是制造半導(dǎo)體化合物砷化鎵的重要材料,由砷化鎵(GaAs)集成電路所提供的高速度和高頻率是其它器件所不能比擬的.由它制備的微波變頻器件和光電器件,廣泛用于導(dǎo)彈制導(dǎo)、雷達(dá)和新一代衛(wèi)星通訊等裝置。

在高純度AsH3氣體的應(yīng)用中,微量水是關(guān)鍵的雜質(zhì)之一。水分子可能與AsH3發(fā)生化學(xué)反應(yīng),導(dǎo)致氣體的性質(zhì)發(fā)生改變,從而影響半導(dǎo)體的性能和品質(zhì)。因此,對AsH3氣體中的微量水含量進(jìn)行**測量是至關(guān)重要的。Tracer2的高精度測量能力使得制造商可以準(zhǔn)確測量AsH3氣體中的水分含量,從而確保生產(chǎn)過程的**性和穩(wěn)定性。Meeco AquaVolt+及Tracer2 在高純AsH3氣體中的應(yīng)用


除了高精度之外,Tracer2還具有快速響應(yīng)的特點(diǎn)。這使得制造商能夠?qū)崟r監(jiān)控AsH3氣體中的水分含量,及時調(diào)整工藝參數(shù),確保制造過程的穩(wěn)定性和成品質(zhì)量。此外,Tracer2的友好的用戶界面使得操作變得簡單快捷,無論是設(shè)置參數(shù)還是查看數(shù)據(jù)都十分方便。

Tracer2還具有可靠性和耐用性,其基于長期實(shí)踐檢驗(yàn)的電解質(zhì)傳感器提供了可靠的測量結(jié)果,確保了生產(chǎn)過程中的**性和穩(wěn)定性。此外,Tracer2還具有CE認(rèn)證,符合相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)定。Meeco AquaVolt+及Tracer2 在高純AsH3氣體中的應(yīng)用

總的來說,Tracer2微量水分析儀在高純AsH3氣體的應(yīng)用中發(fā)揮了重要的作用。它不僅提高了產(chǎn)品的質(zhì)量,還確保了生產(chǎn)過程的安 全性和穩(wěn)定性。隨著科技的不斷發(fā)展,我們期待Tracer2能在更多的領(lǐng)域發(fā)揮其優(yōu)勢,為我們的生活帶來更多的便利和安 全。Meeco AquaVolt+及Tracer2 在高純AsH3氣體中的應(yīng)用

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