電子氣純度與精度Ppb微量水ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
在半導(dǎo)體制造中，電子氣體的純度與精度是至關(guān)重要的。它們是晶圓制造過(guò)程中不可或缺的原材料，直接影響產(chǎn)品的性能和可靠性。其中，純度是氣體中雜質(zhì)含量的高低，而混配精度則是不同氣體之間**配比的度量。為了滿足不斷提高的集成電路制造工藝要求，電子特氣的純度和混配精度必須達(dá)到極高的水平。
電子特氣的純度通常要求在5N以上，而在晶圓制造環(huán)節(jié)中，純度要求更為嚴(yán)格，一般在6N以上。這意味著氣體中的雜質(zhì)含量必須極低，以減少對(duì)半導(dǎo)體器件性能的負(fù)面影響。為了達(dá)到這樣的純度水平，生產(chǎn)過(guò)程中采用了多種技術(shù)手段，如氣體純化、氣體合成等。這些技術(shù)能夠去除氣體中的有害雜質(zhì)，提高其純度，以滿足半導(dǎo)體制造的要求。電子氣純度與精度Ppb微量水ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
混配精度是另一項(xiàng)關(guān)鍵參數(shù)，它決定了不同氣體之間的**配比。在電子特氣的生產(chǎn)過(guò)程中，必須對(duì)各種氣體進(jìn)行**控制，以保證其比例的準(zhǔn)確性。行業(yè)內(nèi)部一般以ppm、ppb、ppt以及百分?jǐn)?shù)等單位來(lái)表示組分配比。這些單位表示了氣體濃度的度量，ppm、ppb和ppt分別表示十億分之一、萬(wàn)億分之一和百萬(wàn)億分之一的濃度單位，而百分?jǐn)?shù)則表示相對(duì)濃度的比例。
隨著集成電路制造工藝的不斷迭代升級(jí)，線寬越來(lái)越窄，晶體管密度越來(lái)越高，對(duì)電子特氣的純度、穩(wěn)定性等指標(biāo)的要求也越來(lái)越高。這不僅要求生產(chǎn)過(guò)程中不斷提高技術(shù)水平，同時(shí)也推動(dòng)了相關(guān)儀器和設(shè)備的發(fā)展。電子氣純度與精度Ppb微量水ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
ADEV儀表推出的QZ360露點(diǎn)儀變送器為這一領(lǐng)域帶來(lái)了新的解決方案。基于石英震蕩露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，這款變送器適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用，能夠測(cè)量超高純氣體中的微量水分含量。
QZ360露點(diǎn)儀變送器的測(cè)量下限達(dá)到驚人的-120°C露點(diǎn)（相當(dāng)于不到1 ppbV），測(cè)量穩(wěn)定性和重復(fù)性好。它采用高度集成的采樣裝置，提供模擬和數(shù)字輸出，安裝簡(jiǎn)便，并具有VCR過(guò)程接口和緊湊小巧的設(shè)計(jì)。此外，可選的顯示單元可以輕松連接并作為QZ360的電源。
QZ360的使用和安裝都很簡(jiǎn)單，具有兩線制、三線制和危險(xiǎn)區(qū)域的型號(hào)可選，可以滿足各種特殊需求。它的傳感器外殼由冷拉不銹鋼制成，內(nèi)部潔凈度達(dá)到清潔室標(biāo)準(zhǔn)。變送器提供完整的校準(zhǔn)和操作功能，并可連接到ADEV的顯示模塊或控制系統(tǒng)。此外，該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)具有*小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，確保了快速響應(yīng)速度。傳感器密封墊圈可以在*小壓力10-9torr內(nèi)工作，整個(gè)系統(tǒng)可承受的*大壓力為240 Barg (3480 psi)。電子氣純度與精度Ppb微量水ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
在許多高純氣體的應(yīng)用中，如半導(dǎo)體行業(yè)，氣體的殘留水分對(duì)工藝操作的影響至關(guān)重要。QZ360露點(diǎn)儀變送器的推出填補(bǔ)了市場(chǎng)上的空白，提供了一種簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)的在線測(cè)量露點(diǎn)的方法。它的出現(xiàn)為電子特氣的純度和混配精度提供了有效的監(jiān)測(cè)和控制手段，有助于提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用需求的不斷增長(zhǎng)，相信未來(lái)還會(huì)有更多**的產(chǎn)品和服務(wù)涌現(xiàn)出來(lái)，推動(dòng)電子氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展邁向新的高度。電子氣純度與精度Ppb微量水ADEV QZ360露點(diǎn)儀介紹
