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高純氬選擇的挑戰(zhàn):確保硅晶體生產(chǎn)的高品質(zhì)及ADEV便攜式微量氧分析儀應(yīng)用|埃登威自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)備(上海)有限公司

高純氬選擇的挑戰(zhàn):確保硅晶體生產(chǎn)的高品質(zhì)及ADEV便攜式微量氧分析儀應(yīng)用

氬氣,這一在工業(yè)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的稀有氣體,以其高度的化學(xué)惰性著稱,既不易燃燒也不支持燃燒。在**制造業(yè)如航空、航海、原子能及機(jī)械工程中,氬氣常被用作焊接特殊金屬(如鋁、鎂、銅及其合金和不銹鋼)的保護(hù)氣,有效防止焊接過程中空氣引起的氧化和氮化現(xiàn)象。

特別是在半導(dǎo)體行業(yè)中,高純度氬氣扮演著至關(guān)重要的角色。它不僅用于焊接和不銹鋼制造,還是化學(xué)氣相沉積、晶體生長、熱氧化、外延、擴(kuò)散等關(guān)鍵工藝過程中不可或缺的介質(zhì)。特別是在硅晶體的生產(chǎn)中,高純氬作為保護(hù)氣體,直接關(guān)系到單晶硅和多晶硅的質(zhì)量。因此,如何正確選擇高純氬成為了提升硅晶體品質(zhì)的一大難題。高純氬選擇的挑戰(zhàn):確保硅晶體生產(chǎn)的高品質(zhì)及ADEV便攜式微量氧分析儀應(yīng)用

通過采用先進(jìn)的凈化設(shè)備,當(dāng)氬氣純度達(dá)到并維持在小于1ppm,同時(shí)含水量也低于1ppm的極高標(biāo)準(zhǔn)時(shí),所生產(chǎn)的單晶硅中的氧和碳含量能夠顯著降低至0.5ppm以下。這一成就不僅延長了單晶硅的使用壽命,還極大地滿足了市場對高品質(zhì)硅晶體的需求,贏得了客戶的廣泛贊譽(yù)。

然而,值得注意的是,普通液態(tài)氬在蒸發(fā)后往往未經(jīng)過充分純化,其含氧量可能高達(dá)2ppm至5ppm,甚至有時(shí)超出這一范圍。而供應(yīng)商提供的氬氣質(zhì)量參差不齊,若客戶無法準(zhǔn)確判斷其純度,便可能對*終產(chǎn)品的質(zhì)量造成不利影響。

ADEV G9600 便攜式微量氧分析儀在單晶硅多晶硅行業(yè)有很多應(yīng)用,下面來看看這款產(chǎn)品.

ADEV G9600 便攜式微量氧分析儀技術(shù)參數(shù)概覽

核心亮點(diǎn):

  • **氧傳感技術(shù):融合前沿科技,實(shí)現(xiàn)零維護(hù)運(yùn)行,保障長達(dá)24個(gè)月的穩(wěn)定使用壽命。
  • 本質(zhì)**設(shè)計(jì):嚴(yán)格遵循**標(biāo)準(zhǔn),確保在易燃易爆環(huán)境下也能安心使用。
  • 靈活量程調(diào)節(jié):提供5檔標(biāo)準(zhǔn)分析量程,支持自動(dòng)與手動(dòng)切換,輕松應(yīng)對多樣化測量需求。
  • 堅(jiān)固耐用結(jié)構(gòu):采用不銹鋼旁路取樣系統(tǒng)與防水外殼,無懼惡劣環(huán)境,持久耐用。

詳細(xì)技術(shù)參數(shù):高純氬選擇的挑戰(zhàn):確保硅晶體生產(chǎn)的高品質(zhì)及ADEV便攜式微量氧分析儀應(yīng)用

  • 測量原理:先進(jìn)的燃料電池技術(shù),確保測量結(jié)果的**與穩(wěn)定。
  • 量程范圍:廣泛覆蓋0~10/100/1000ppm及0~1%/25%FS,**滿足各類應(yīng)用場景需求。
  • 測量精度:<1%FS,高精度保證數(shù)據(jù)的可靠性。
  • 測量介質(zhì):支持惰性氣體、氦氣、氫氣、混合氣體及(CO2)酸性氣體等多種類型。
  • 區(qū)域分類:Class 1,Division 1,Group A-D,符合國際**規(guī)范。
  • 校準(zhǔn)推薦:建議采用80%FS含氧量的標(biāo)準(zhǔn)氣進(jìn)行校準(zhǔn),以確保測量精準(zhǔn)。
  • 溫度補(bǔ)償:內(nèi)置自動(dòng)溫度補(bǔ)償功能,消除溫度變化對測量結(jié)果的影響。
  • 氣路連接:1/8"卡套接頭,連接便捷,密封性能**。
  • 操作界面:防水按鍵設(shè)計(jì),搭配菜單驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),操作簡便,功能齊全。
  • 顯示屏幕:大屏幕液晶顯示,分辨率0.01ppm,實(shí)時(shí)顯示環(huán)境溫度,信息清晰直觀。
  • 外殼材質(zhì):鍍鋁NEMA 4X材質(zhì),防水防塵,有效保護(hù)內(nèi)部組件。
  • 流量需求:建議流量2SCFH(范圍1~5SCFH),確保測量穩(wěn)定。
  • LED指示燈:直觀顯示電池電量與充電狀態(tài),便于日常維護(hù)。
  • 線性度:>0.995,確保測量結(jié)果的良好線性關(guān)系。
  • 壓力適應(yīng)性:進(jìn)氣壓力5~30psig,出氣壓力為大氣壓,適應(yīng)廣泛壓力環(huán)境。
  • 電源供應(yīng):內(nèi)置長效可充電電池,充電周期長達(dá)60天(帶泵工作時(shí)為1天)。
  • 快速響應(yīng):恢復(fù)時(shí)間僅需60秒至10ppm以下,響應(yīng)時(shí)間僅10秒,提升工作效率。
  • 取樣系統(tǒng):集成流量控制、取樣/旁路切換及流量計(jì),實(shí)現(xiàn)**取樣與流量管理。
  • 高靈敏度:<0.5%FS,精準(zhǔn)捕捉微量氧氣變化。
  • 信號(hào)輸出:提供RS485信號(hào),便于與各種外部設(shè)備連接和數(shù)據(jù)傳輸。

可選配件:高純氬選擇的挑戰(zhàn):確保硅晶體生產(chǎn)的高品質(zhì)及ADEV便攜式微量氧分析儀應(yīng)用

  • 酸性傳感器:針對CO2含量超過0.5%的特定環(huán)境,提升測量精準(zhǔn)度。
  • 整體式取樣泵:簡化取樣流程,適用于多種應(yīng)用場景及本安設(shè)計(jì)要求。
  • 手提式便攜箱:便于攜帶與儀器保護(hù),適合戶外作業(yè)或移動(dòng)測量。
  • 其他取樣調(diào)節(jié)配件:根據(jù)個(gè)性化需求靈活配置,滿足多樣化測量要求。

應(yīng)用領(lǐng)域:
廣泛應(yīng)用于石油化工、煤化工、泄漏檢測、氣態(tài)單體過程分析、氣體純度分析、氣態(tài)純碳?xì)湮锪鞅O(jiān)測、半導(dǎo)體生產(chǎn)、惰性氣體焊接保護(hù)及熱處理等領(lǐng)域。

為解決這一問題,氬氣凈化裝置顯得尤為重要。無論原料氬氣的初始質(zhì)量如何,經(jīng)過凈化裝置處理后,進(jìn)入晶體生長爐的氬氣均能保持穩(wěn)定的高純度狀態(tài),一般可達(dá)氧氣含量小于0.2ppm,水分小于1ppm。這種高度純凈且穩(wěn)定的氬氣供應(yīng),為硅晶體的生產(chǎn)提供了堅(jiān)實(shí)的保障,確保了晶體品質(zhì)的穩(wěn)步提升。

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