日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器
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產(chǎn)品名稱:
日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號(hào):
日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)。
日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器 的詳細(xì)介紹
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日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)。
日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
質(zhì)量流量計(jì)是用來測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需準(zhǔn)確測(cè)量,需不斷的改變測(cè)量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量,是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量,而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響,從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制,且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)。
日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn):
它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。
1.適用于高溫:可滿足150℃烘焙
2.產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)
3.超清潔類型:接氣部全不銹鋼構(gòu)造
4.適于MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制
我們會(huì)努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯,如技術(shù)參數(shù)中英文有差異,以英文參數(shù)為準(zhǔn)。
日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):
SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:80?9?1100℃
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SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:100?9?1120℃
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SEC-8440LSL
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:15?9?135℃
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SEC-8450LSL
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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10/20 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:15?9?135℃
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SEC-8455LSL日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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30/50 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:15?9?135℃
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SEC-8460LSL
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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50/100 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:15?9?135℃
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SEC-8440LSM
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:35?9?160℃
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SEC-8450LSM
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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10/20 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:35?9?160℃
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SEC-8455LSM
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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30/50 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:35?9?160℃
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SEC-8460LSM
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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50/100 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:35?9?160℃
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SEC-8440LSH
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:60?9?180℃
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SEC-8450LSH
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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10/20 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:60?9?180℃
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SEC-8455LSH
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS-316L
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閥門類型
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NO: 非通電時(shí):開
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
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30/50 SLM
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流量控制范圍
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2?9?1100% F.S.(滿量程)
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流量精度
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±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:60?9?180℃
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日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)