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產(chǎn)品資料

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品名稱: 日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號(hào): 日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)。


日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器  的詳細(xì)介紹
埃登威自動(dòng)化-專業(yè)進(jìn)口儀器供應(yīng)商!我們提供豐富的儀器儀表種類、有競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品價(jià)格及良好的售后服務(wù)。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

質(zhì)量流量計(jì)是用來測(cè)量或控制氣體流量的一種設(shè)備。流量一般分為體積流量和質(zhì)量流量,但是氣體的體積易受到外界的溫度和壓力的影響,如需準(zhǔn)確測(cè)量,需不斷的改變測(cè)量條件來配合不斷改變的外界環(huán)境。而質(zhì)量流量,是利用測(cè)量氣體的質(zhì)量,而質(zhì)量是不受外界的環(huán)境的影響,從而可以提供高精度流量檢測(cè)和控制,且在半導(dǎo)體制造制程有廣泛的使用日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)。


日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn):

它是搭載有壓電閥、可在高溫環(huán)境中使用的質(zhì)量流量控制器。

1.適用于高溫:可滿足150℃烘焙

2.產(chǎn)品陣容中有可滿足使用溫度的產(chǎn)品型號(hào)日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)

3.超清潔類型:接氣部全不銹鋼構(gòu)造

4.適于MOCVD用有機(jī)金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體的流量控制



我們會(huì)努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯,如技術(shù)參數(shù)中英文有差異,以英文參數(shù)為準(zhǔn)。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù):

SEC-8340SL 搭載有主體加溫加熱器

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:80?9?1100℃

 

SEC-8340SM 本體加溫ヒータ搭載

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:100?9?1120℃

 

SEC-8440LSL

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:15?9?135℃

 

SEC-8450LSL

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:15?9?135℃

 

SEC-8455LSL日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 30/50 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:15?9?135℃

 

SEC-8460LSL

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 50/100 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:15?9?135℃

 

SEC-8440LSM

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:35?9?160℃

 

SEC-8450LSM

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:35?9?160℃

 

SEC-8455LSM

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 30/50 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:35?9?160℃

 

SEC-8460LSM

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 50/100 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:35?9?160℃

 

SEC-8440LSH

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:60?9?180℃

 

SEC-8450LSH

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 10/20 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:60?9?180℃

 

SEC-8455LSH

氣體接觸部材質(zhì) SUS-316L
閥門類型 NO: 非通電時(shí):開
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 30/50 SLM
流量控制范圍 2?9?1100% F.S.(滿量程)
流量精度 ±1.0% F.S.(滿量程) ?使用溫度:60?9?180℃

 日本Horiba STEC SEC-8440F 8450氣體質(zhì)量流量控制器日本Horiba流量計(jì)售后服務(wù)

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