埃登威自動(dòng)化-專業(yè)進(jìn)口儀器供應(yīng)商！我們提供豐富的儀器儀表種類、有競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品價(jià)格及良好的售后服務(wù)日本Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家。
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器適用于過(guò)程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制。
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
S500熱式質(zhì)量流量控制器能夠在較大的量程范圍內(nèi)在線實(shí)時(shí)地準(zhǔn)確控制氣流質(zhì)量流量。利用氣流流過(guò)不銹鋼毛細(xì)管，改變毛細(xì)管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測(cè)得氣體質(zhì)量流量;不同于測(cè)壓力或測(cè)體積方法等類別流量計(jì)，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。上下游溫差測(cè)量電路信號(hào)實(shí)時(shí)反映氣流瞬時(shí)流量，并通過(guò)PID電路實(shí)時(shí)控制比例電磁閥而準(zhǔn)確控制流量，所以特別適用于過(guò)程控制中在線實(shí)時(shí)的氣體流量的準(zhǔn)確測(cè)量和控制日本Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家。
S500系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：
具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小等特點(diǎn)。
耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。
閥體采用不銹鋼(316L)結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。線路板、閥體、彈**、精致電阻和電容等為重要零部件，均執(zhí)行嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。
可任意角度安裝日本Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家。
電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合工作。
我們會(huì)努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯，如技術(shù)參數(shù)中英文有差異，以英文參數(shù)為準(zhǔn)。
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：
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項(xiàng)目
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S500 (規(guī)格Type AR111)
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外部密封
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氟橡膠
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接觸氣體材料
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SUS316L,氟橡膠,磁性不銹鋼
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調(diào)節(jié)閥類型
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非通電時(shí)常閉日本Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家
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滿量程流量(N2換算流量)
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10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min
1,2,3,5,10,20,30 L/min
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流量控制范圍
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2%～100%F.S. (0.1～5V DC)
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流量測(cè)量范圍
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0～100%F.S. (0～5V DC)
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響應(yīng)時(shí)間（輸出電壓）
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1秒 (保證 1.5秒以內(nèi)T98)
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工作環(huán)境溫度
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5～45℃ (精度保證 15～35℃)
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流量精度
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±1.0%F.S
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線性
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±0.5%F.S.
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重復(fù)性
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±0.2%F.S.
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工作壓差
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10mL/min～5L/min :50～300kPa(d)
10L/min～30L/min :100～300kPa(d)
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很大工作（使用）壓力
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300kPa(G)
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耐壓
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3MPa(G)
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泄漏率
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1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下
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流量設(shè)定信號(hào)
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0.1～5VDC(2%～100%F.S.)
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流量輸出信號(hào)
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0～5VDC(0%～100%F.S.)
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供電電源
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+15V±5% 100mA以下
－15V±5% 150mA以下
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管路接頭
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1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR
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安裝角度
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任意
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電氣接頭
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D-Sub 15pin
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輸入輸出阻抗
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輸入：1MΩ以上 輸出：3mA以下
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附加功能
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Auto-zero、Auto-close
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滿量程流量50mL/min一下的響應(yīng)時(shí)間為2S以內(nèi)
日本Horiba S500氣體質(zhì)量流量控制器日本Horiba氣體質(zhì)量流量計(jì)廠家
