日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器
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產(chǎn)品名稱:
日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號:
Horiba上海辦
產(chǎn)品展商:
其它品牌
產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹
日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制Horiba上海辦。
日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器 的詳細(xì)介紹
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日本Horiba STEC
SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。
日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡介：
MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器所須的品質(zhì)特性的條件下徹底實(shí)現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實(shí)現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制Horiba上海辦。
日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特征：
具有廣泛的用途
追求成本優(yōu)勢、實(shí)現(xiàn)成本降低
我們會努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯，如技術(shù)參數(shù)中英文有差異，以英文參數(shù)為準(zhǔn)。
日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)Horiba上海辦：
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型號
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SEC-
(質(zhì)量流量控制器)
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E40/E40MK3
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E50/E50MK3
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SEF- (質(zhì)量流量計(jì))
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E40
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E50
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適用氣體種類*1
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非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
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氣體接觸部材質(zhì)
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SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
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閥門型號
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非通電時關(guān)閉
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標(biāo)準(zhǔn)流量量程
(N2相應(yīng)F.S.)
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10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
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20/30 SLM
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流量控制范圍
(適于SEC系列)
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2?100% F.S.
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流量測量范圍
(適于SEF系列)
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0?100% F.S.
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響應(yīng)速度
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1秒以內(nèi)(T98)
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流量精度
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±1% F.S.
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直線性
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±0.5% F.S.
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反復(fù)性
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±0.2% F.S.
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工作差壓值值
(適于SEC系列)
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10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)
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使用壓力
(適于SEF系列)
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300kPa(G)以下Horiba上海辦
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耐壓
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1MPa(G)以下
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外部泄漏率
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1×10-8Pa?m3/s(He)以下
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使用環(huán)境溫度
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5?50℃(精度的確保：15?35℃)
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流量設(shè)定信號
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0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.
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流量輸出信號
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0?5VDC(很小負(fù)荷電阻2kΩ)
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驅(qū)動電源
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+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA
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＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
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標(biāo)準(zhǔn)接頭*2
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1/4SWL 類型
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日本Horiba STEC SEC-E50MK3氣體質(zhì)量流量控制器Horiba上海辦
