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產(chǎn)品資料

美國ALICAT MCS/MCRS 耐腐蝕質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品名稱: 美國ALICAT MCS/MCRS 耐腐蝕質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品型號: 美國ALICAT流量計維修
產(chǎn)品展商: 其它品牌
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

采用316L不銹鋼結(jié)構(gòu)以抵擋NH3、H2S、SiH4等腐蝕性氣體, “主要參數(shù)”欄目下方可查看設(shè)備預(yù)置腐蝕性氣體列表,量程范圍:0~0.5 sccm 至 0~3000 slpm。美國ALICAT流量計維修


美國ALICAT MCS/MCRS 耐腐蝕質(zhì)量流量控制器  的詳細介紹
埃登威自動化-專業(yè)進口儀器供應(yīng)商!我們提供豐富的儀器儀表種類、有競爭力的產(chǎn)品價格及良好的售后服務(wù)美國ALICAT流量計維修。

美國ALICAT  MCS/MCRS 耐腐蝕質(zhì)量流量控制器參數(shù): 

0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 3000 slpm 滿量程 

艾里卡特®MCS & MCRS 系列專用于某些腐蝕性氣體


產(chǎn)品性能: MCS & MCRS 系列質(zhì)量流量控制器 

精度(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) 

高精度選配(調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下): ±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)美國ALICAT流量計維修 

高精度(選配)僅適用于量程為: 5SCCM ~ 500SLPM 的設(shè)備

重復(fù)性: ±0.2% F.S 

零點漂移&滿量程漂移: 0.02% F.S / oC / Atm 美國ALICAT流量計維修

工作范圍 / 量程可調(diào)比: 1% ~ 100 F.S / 100:1 

很大可控流量: 102.4% F.S 

典型響應(yīng)時間: 100 毫秒(可調(diào)整) 

啟動預(yù)熱時間: < 1 秒

運行工況: MCS & MCRS 系列質(zhì)量流量控制器 

標(biāo)準(zhǔn)工況: (STP) 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換) 

工作溫度: ?10 ~ +50 oC 美國ALICAT流量計維修

工作濕度范圍 (非冷凝): 0 ~ 100 

內(nèi)部很大工作壓力(靜壓): 145 psig 

很限壓力: 175 psig 

對安裝方式/方向的要求: MCS: 無 MCRS: 閥門須垂直安裝 

閥門狀態(tài): 閥門常閉 

防護等級: IP40 

材質(zhì) :標(biāo)準(zhǔn)采用 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可根據(jù)特殊氣體選用 Viton, EPDM, Buna, Neoprene;


美國ALICAT  MCS/MCRS 耐腐蝕質(zhì)量流量控制器美國ALICAT流量計維修
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